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Silicon dioxide의 전기적 특성에 관한 STM연구

정종훈 鄭種勳

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자료유형학위논문
서명/저자사항Silicon dioxide의 전기적 특성에 관한 STM연구 = Electrical characterization of silicon dioxide with STM / 정종훈.
개인저자정종훈
발행사항서울 : 연세대학교 대학원, 2001.
형태사항xii, 82장 : 삽도 ; 26 cm.
학위논문주기학위논문(석사)--연세대학교 대학원 :물리및응용물리학,2001.2.
학과코드530 (thesis)
일반주기 본문은 영문임.
초록서명임.
지도교수: 여인환.
비통제주제어주사 투과형 현미경,원자 힘 현미경,극초박막,화학적 산화막,건식형 산화막,습식형 산화막,전기누출지역,준절연파괴,열전자 주입,주사 투과형 분광법,압박전압,압박 전류,알갱이 구조,계면,
scanning tunneling microscopy,atomic force microscopy,ultrathin film,chemical oxide,dry oxide,wet oxide,leakage site,quasibreakdown,hot-electron injection,scanning tunneling spectroscopy,voltage stress,current stress,grain structure,interface,HF strip,void
언어영어
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No. 등록번호 청구기호 소장처 도서상태 반납예정일 예약 매체정보
1 00060109856 학 530 001드 [신촌]학술정보원/과학기술자료실(중도4층)/학위논문 대출가능

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